• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Наноразмерные поры в аморфном нитриде кремния при облучении ионами вольфрама и химическом травлении / А. Ю. Дидык, В. А. Скуратов, Л. А. Власукова [и др.]. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVI науч.-техн. конф., окт. 2009 г. - М. : МИЭМ, 2009. - С. 152-154. - Библиогр.: 12 назв.
    ГРНТИ 29.19.21

    Аннотация: Изучено образование пор в аморфном нитриде кремния после облучения быстрыми тяжелыми ионами вольфрама и последующем химическом травлении латентных треков в матрице Si3N4.
    Доп. точки доступа:
    Дидык, А.Ю.
    Скуратов, В.А.
    Власукова, Л.А.
    Комаров, Ф.Ф.
    Плякин, Д.В.

    Экз-ры полностью e24698f82b1bd1937e19cf8e9a4cae6f
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -214347-964588)

    Шифр в сводном ЭК: 6f7023092bb934779c8bf64764ce90de




    Заказ фрагмента документа ₽