Приложение
для AndroidПолное описание
Harmening, M. Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhohe aus elektrisch isolierenden und leitfahigen Kunststoffen / M.Harmening,W.Ehrfeld. - Karlsruhe : [s. n.], 1990. - 112 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; N4711). - Текст : непосредственный.
Рез. англ. Библиогр.: с.109-112
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76.002 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Ehrfeld, W.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/4711)
Шифр в сводном ЭК: 15540725daf4c70894d2ab5f7aa121cc
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern / A.Michel,R.Ruprecht,M.Harmening,W.Bacher, 1993. - 84 S. - Текст : непосредственный.Anderer B. Grundlagen fur die rontgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlangen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter / B.Anderer,W.Ehrfeld,J.Mohr, 1990. - 95 S. - Текст : непосредственный.Systemtechnische Analyse und Entwicklung eines Mikroventils in LIGA- Technik : Diss. / B.Kowanz,W.Ehrfeld,, 1991. - 90 S. - Текст : непосредственный.Harmening M. Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhohe aus elektrisch isolierenden und leitfahigen Kunststoffen / M.Harmening,W.Ehrfeld, 1990. - 112 S. - Текст : непосредственный.Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren / H.Kalb,W.Bacher,M.Harmening,R.Ruprecht, 1995. - 93 S. - Текст : непосредственный.
Kapetanios E. PROMISE:a preliminary study of a scientific information system for MIPAS satellite experiment / E. Kapetanios, 1993. - 78 p. - Текст : непосредственный.Jordan T. Kopplung der elektromagnetischen und strukturdynamischen Probleme beim Fusionsreaktorblanket / T. Jordan, 1993. - 163 S. - Текст : непосредственный.Frederichs G. Kunstliche Intelligenz im Hartetest der kommerziellen Praxis / G. Frederichs, M. Rader, 1993. - 108 S. - Текст : непосредственный.Panitz H.-J. The lagrangian particle model traveling version 92/3: model description and users' guide / H.-J. Panitz, B. Vogel, H. Vogel, 1994. - 83 p. - Текст : непосредственный.Buche T. Supraleitung im homogenen Elektronengas : сборник научных трудов / T. Buche, 1991. - 112 S. - Текст : непосредственный.Jodicke B. Zur Modenrangigkeit von Hochleistungsgyrotrons mit rotationssymmetrischen Arbeitsmoden / B. Jodicke, 1989. - 134 S. - Текст : непосредственный.Huber S. Untersuchungen zur Wechselwirkung von Lithiumorthosilikat mit Wasserdampf und Wasserstoff : сборник научных трудов / S. Huber, 1994. - 118 S. - Текст : непосредственный.Bestrahlungsprogramm SAMARCANDE : монография / M. Rieth, B. Dafferner, H. Ries, O. Romer, 1994. - 117 S. - Текст : непосредственный.Eibl J. Zur bautechnischen Machbarkeit eines alternativen Containments fur Druckwasserreaktoren - Stufe 3 - / J. Eibl, 1994. - Pag.var. - Текст : непосредственный.Zimmer K.W. Towards a unified description of light ion fusion cross section excitation functions / K. W. Zimmer ; Ed. H. Rebel, 1994. - 36 p. - Текст : непосредственный.Semmle C. Aufbau eines Messsystems zur Bestimmung der Parameter des Millimeterwellen-Ausgangsstrahls von Hochleistungsgyrotrons / C. Semmle, 1994. - 67 S. - Текст : непосредственный.Verbesserung der Betriebsfuhrung technischer Anlagen durch den Einsatz von Methoden der Kunstlichen Intelligenz : сборник научных трудов / H. Keller, T. Weinberger, E. Kugele, 1992. - 79 S. - Текст : непосредственный.Baumann W. Simultane Rauchgasreinigung durch Elektronenstrahl der Teststand AGATE-2 : сборник научных трудов / W. Baumann, H. -R. Paur, 1991. - 91 S. - Текст : непосредственный.Frohner F.H. Tests of the 238-U+n evaluation for JEP-2 in the unresolved resonance region / F. H. Frohner, 1991. - 17 p. - Текст : непосредственный.Khuen E.Q. Photoakustische Spurenbestimmungen von anorganischen Schadstoffen / E. Q. Khuen, W. Faubel, H. J. Ache, 1991. - 65 S. - Текст : непосредственный.Dransfeld P. Entstehung und Verbrauch von Stickoxiden wahrend der Verbrennung / P. Dransfeld, 1991. - 34 S. - Текст : непосредственный.Konditionierung radioaktiver Abfallosungen durch Zementierung / P. Vejmelka, G. Rudolph, W. Kluger, R. Koster, 1990. - 80 S. - Текст : непосредственный. Bertram-Berg A. Verfahren zur kontinuierlichen Gadoliniumbestimmung in den salpetersauren Stromen der Kernbrennstoff-Wiederaufarbeitung / A. Bertram-Berg, 1991. - 152 S. - Текст : непосредственный.Rimikis G. Einflussgrossen und Methoden zur Optimierung der supraleitenden und mechanischen Eigenschaften von Chevrelphasendrahten / G. Rimikis, 1991. - 100 S. - Текст : непосредственный.Dalle Donne M. CHF-Kfk-3:A critical heat flux correlation for triangular arrays of rods with tight lattices / M. Dalle Donne, 1991. - 31 p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВиноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыПолтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Семенов Ю.Г. Контроль качества / Ю. Г. Семенов, 1990. - 111 c. - Текст : непосредственный.Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Кормилицын О.П. Механика материалов и структур нано- и микротехники : учебное пособие / О. П. Кормилицын, Ю. А. Шукейло, 2008. - 216 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Ермаков А.В. Исследование механизмов создания наноструктур на поверхности твердого тела с помощью сканирующего туннельного микроскопа и микроскопа атомных сил : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. В. Ермаков, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Элионная обработка / О. С. Моряков, 1989. - 128 c. - Текст : непосредственный.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный.Новые магнитные материалы микроэлектроники, 2000. - 889 с. - Текст : непосредственный.Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник научных трудов / Ред. В. А. Курчидис, 1997. - 168 с. - Текст : непосредственный.Растова Н.А. Энергетический спектр электронов в двумерных ковалентных структурах с локальными дефектами на поверхности / Н. А. Растова, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный.Мазуренко С.Н. Синхронное излучение в технологических процессах микроэлектроники / С. Н. Мазуренко, В. В. Мануйлов, В. М. Матвеев, 1994. - 75 c. - Текст : непосредственный.Бакланов М.Р. Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si,Ge и SiO : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени / М. Р. Бакланов, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный.Умаров С.И. Взаимодействие алюминия со стронцием, индием и кремнием и разработка высокочистых алюминиевых сплавов : специальность 02.00.01 "Неорганическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук / С. И. Умаров, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный.Давыдов В.Н. Исследование и разработка двухкоординатных систем прецизионного перемещения в вакуумных корпускулярно-лучевых установках : специальность 05.13.05 "Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. Н. Давыдов, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽