• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Обзоры по электронной технике : обзорная информация / ЦНИИ "Электроника". - М. : [б. и.], 19 - . - В надзаг.Департамент электрон. пром-сти. - Текст : непосредственный.
    Вып. 8(1499) : Фоторезисты высокого разрешения. Связь разрешающей способности с кинетическими факторами процессов фотопревращения и проявления : по дан.отеч.и зарубеж.печати за 1972-1989 гг. / В.М.Треушников,Ю.И.Кольцов. - 1989. - 26 ч. : ил

    Сер.6,Материалы. Библиогр.:с.21-16

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.75.002

    Рубрики:
    Фоторезисты

    Кл.слова (ненормированные): ФОТОРЕЗИСТ
    Доп. точки доступа:
    Кольцов, Ю.И.
    "Электроника", ин-т (Москва)
    Экз-ры полностью 3da96f8a6d90c28efc31fa5eeb1b880b
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/15125/8(1499))

    Шифр в сводном ЭК: 3da96f8a6d90c28efc31fa5eeb1b880b



    Заказ фрагмента документа ₽