• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Институт общей физики (Москва).
    Труды Института общей физики. - М. : Наука, 20 - . - Текст : непосредственный.
    Т. 62 : Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии. - 2006. - 145 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - 400 экз. - ISBN 5-02-034130-4

    ГРНТИ УДК
    81.13.30620.3

    Рубрики:
    Линейные и угловые измерения
    Нанотехнологии

    Доп. точки доступа:
    Институт общей физики(Москва)
    Экз-ры полностью cb9102183c4aecaa43c37c44b684ae32
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/14313/62)

    Шифр в сводном ЭК: cb9102183c4aecaa43c37c44b684ae32



    Заказ фрагмента документа ₽