Полное описание
> Ruther, P. Entwicklung eines LIGA-Mikrosystems zur Messung mechanischer Eigenschaften von Mikroproben : Diss. / P.Ruther,W.Bacher,K.Feit. - Karlsruhe, 1997. - 91 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5986). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.84-87
| ГРНТИ | УДК | |
| 81.09.81 | 621-181.4(043) | |
| 47.13.11 | 620.17.08(043) |
Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство
Микроиспытания материалов -- Оборудование
Доп. точки доступа:
Bacher, W.
Feit, K.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5986)>
Шифр в сводном ЭК: d529f208b388d29bdaabfcab5110c100
Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen / K.Layendecker,W.Bacher,K.Bade,W.Stark, 1995. - 87 S. - Текст : непосредственный.Thommes A. Die galvanische Abscheidung von Eisen-Nickel in LIGA-Mikrostrukturen / A.Thommes,W.Stark,W.Bacher, 1995. - 76 S. - Текст : непосредственный.Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern / A.Michel,R.Ruprecht,M.Harmening,W.Bacher, 1993. - 84 S. - Текст : непосредственный.Karthaus J. Galvanische Abscheidung von Metallen aus nichtwassrigen Elektrolyten fur die Mikrosystemtechnik : Diss. / J.Karthaus,K.Bade,W.Bacher, 2000. - VIII,121 S. S. - Текст : непосредственный.Entwicklung von Mikromembranpumpen von der seriengerechten Konzeption bis zur Anwendung : Diss. / B.B@:ustgens,W.Bacher,W.Menz,W.K.Schomburg, 1996. - VI,92 S. S. - Текст : непосредственный.Ruther P. Entwicklung eines LIGA-Mikrosystems zur Messung mechanischer Eigenschaften von Mikroproben : Diss. / P.Ruther,W.Bacher,K.Feit, 1997. - 91 S. - Текст : непосредственный.Ruprecht R. Untersuchungen an mikrostrukturierten Bandpassfiltern fur das Ferne Infrarot und ihre Herstellung durch Rontgentiefenlithographie und Mikrogalvanoformung : Diss. / R.Ruprecht,W.Bacher, 1991. - 83 S. - Текст : непосредственный.Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren / H.Kalb,W.Bacher,M.Harmening,R.Ruprecht, 1995. - 93 S. - Текст : непосредственный.
Kraus S. Xerogelstrukturen als Sensormatrices : монография / S. Kraus, J. Goschnick ; Ed: C. A. Melendres, A. Tadjeddine, 1996. - 99 S. - Текст : непосредственный.Muller S. Messungen an PZT-Keramiken / S. Muller, 1999. - 33 S. - Текст : непосредственный.Beuchle G. Hydrolyse von Sodalith zur in situ Konditionierung saurer Porenwasser mit technischen Basen durch Neutralisation und Sekundarphasenbildung : сборник научных трудов / G. Beuchle, 1999. - 151 S. - Текст : непосредственный.Stieglitz R. Kann man das Erdmagnetfeld im Labor simulieren? / R. Stieglitz, U. Muller, 1999. - 29 S. - Текст : непосредственный.Bernatzki A. Geometrische Interpretation neuronaler Netze / A. Bernatzki, 1999. - 123 S. - Текст : непосредственный.Seiter Ch. Numerische Simulation turbulenter Auftriebsstromungen in horizontalen Kanalen : сборник научных трудов / Ch. Seiter, 1995. - XI,172 S. S. - Текст : непосредственный.Compatibility of 31 metals,alloys and coatings with static Pb-17Li eutectic mixture / H. Feuerstein, H. Grabner, J. Oschinski, J. Beyer, 1995. - 161 p. - Текст : непосредственный.Schirra M. Das Umwandlungsverhalten der hochwarmfesten martensitischen Stahle mit 8-14 Cr / M. Schirra, H. Finkler, 1995. - 38 S. - Текст : непосредственный.OPTIFER,ein weiterer Schritt zur Entwicklung niedrigaktivierender martensitischer Stahle : сборник научных трудов / M. Schirra, K. Ehrlich, S. Heger, M. T. Hernandez, 1995. - 41 S. - Текст : непосредственный.Lindemann K. Objektorientierte Modellierung am Beispiel eines Mikrosystems zur Messung von Beschleunigungen / K. Lindemann, H. Eggert, W. Suss, 1995. - II,102 S. S. - Текст : непосредственный.Scaffidi-Argentina F. Modellierung des Schwellens und der Tritium-Freisetzung von bestrahltem Beryllium : сборник научных трудов / F. Scaffidi-Argentina, 1995. - XIII,139 S. S. - Текст : непосредственный.Wien A. Ein Beitrag zur Analyse von quasi-optischen Wellentypwandlern in Hochleistungsgyrotrons : сборник научных трудов / A. Wien, 1995. - 129 S. - Текст : непосредственный.Hermanutz D. Neutroneninduzierte Verlagerungsschadigung von Beryllium im Blanket eines (d,t)-Fusionsreaktors / D. Hermanutz, 1995. - V,101 S. S. - Текст : непосредственный.Chung-I C. Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid- Schichten und deren Modifikation durch lonenimplantation : сборник научных трудов / C. Chung-I, 1995. - 254 S. - Текст : непосредственный.Gruber C. Numerische Simulation von Gyrotronkanonen mit BFCPIC und BFCRAY : сборник научных трудов / C. Gruber, 1995. - II,69 S. S. - Текст : непосредственный.Reimann J. Report of working group MHD for the Blanket Concept Selection Exercise (BCSE) / J. Reimann, G. Benamati, R. Moreau, 1995. - 48 p. - Текст : непосредственный.Bethge K. Gerate zum Auffinden und Bewerten von holzzersetzender Faule in Baumen / K. Bethge, C. Mattheck, E. Hunger, 1995. - 36 S. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Elzer M. Die Vieldraht-Proportionalkammern von KASCADE bei Luftschauern mit hoher Teilchendichte / M. Elzer, 1996. - 60 S. - Текст : непосредственный.Kuntz M. Bestimmung der Hohenverteilung stratospharischer Spurengase aus Emissionsspektren eines bodengebundenen Millimeterwellen-Radiometers / M. Kuntz, 1996. - IX,135 S. S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВиноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Ромашкин С.В. Моделирование неоднородностей конструкционных материалов в задачах ультразвуковой дефектоскопии : специальность 01.04.06 "Акустика" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Ромашкин, 2002. - 16 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Численные исследования чувствительности радиографического контроля / М. Е. Жуковский, С. В. Подоляко, Е. Г. Лукьянова, А. А. Егорушкин, 2006. - 15 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Челпанов И.Б. Автоматические технологические машины и оборудование. Испытания машин : учебное пособие / И. Б. Челпанов, 2008. - 296 с. - Текст : непосредственный.Кудрявцев Д.А. Разработка способа магнитопорошкового контроля торцевых поверхностей нефтегазовых труб на основе явления магнитной коагуляции / Д. А. Кудрявцев, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный.Нистратов М.И. Разработка методов оценки и повышения метрологической надежности средств неразрушающего контроля теплофизических свойств объектов с учетом условий эксплуатации / М. И. Нистратов, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный.Назаров В.Г. Проблема видимости сред в томографии : специальность 01.02.04 "Механика деформируемого твердого тела" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / В. Г. Назаров, 2000. - 16 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Попов А.М. Разработка и совершенствование методов муаровых полос для исследования деформированного состояния элементов конструкций : специальность 01.02.04 "Механика деформируемого твердого тела" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. М. Попов, 2000. - 40 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineИсследование динамического воздействия ударника на многослойные преграды / А. В. Баранов, Ю. П. Конаныхин, Л. П. Пасечник, С. Г. Сугак, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Бобренко В.М. Акустическая тензометрия. Теория и практика / В. М. Бобренко, М. С. Вангели, А. Н. Куценко, 1991. - 204 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЕвстафьев С.С. Разработка и исследование физико-технологических моделей многослойных тепловых микроактюаторов / С. С. Евстафьев, 2016. - 23 с. - Текст : непосредственный.Быркин В.А. Корреляционные эффекты в системе несмачивающая жидкость - нанопористая среда / В. А. Быркин, 2013. - 28 с. - Текст : непосредственный.Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Rontgenzwischenmasken fur das LIGA-Verfahren / K. Kadel, G. Stern, R. Brossardt, W. Schomburg, 1993. - 94 S. - Текст : непосредственный.Михайлов В.П. Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа : специальность 05.13.06 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами(по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. П. Михайлов, 2003. - 32 с. - Текст : непосредственный.Buchberger P. MIDAS.Ein wissensbasiertes System zur Unterstutzung des fertigungsgerechten Entwurfs von LIGA-Mikrostrukturen / P. Buchberger, H. Eggert, K. P. Scherer, 1997. - VI,119 S. S. - Текст : непосредственный.
Burg B. Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit bebiebiger, ebener Oberflachengeometrie : Diss / B.Burg, 1991. - 117 S. - Текст : непосредственный.Жуков А.А. Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.01, 05.27.06 / А. А. Жуков, 2003. - 52 с. - Текст : непосредственный.Лысенко И.Е. Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / И. Е. Лысенко, 2002. - 22 с. - Текст : непосредственный.Гринькин Е.А. Формирование и свойства регулярных поверхностных и пористых полиимидных микроструктур для элементов микросистемной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.16.09 / Е. А. Гринькин, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный.Rogge T. Entwicklung eines piezogetriebenen Mikroventils - von der Idee bis zur Vorserienfertigung : Diss. / T.Rogge,Z.Rummler,W.K.Schomburg, 2001. - II,123 S. S. - Текст : непосредственный.Kaiser S.C. Entwicklung eines magnetisch-induktiven Mikroventils nach dem AMANDA - Verfahren : Diss. / S.C.Kaiser, 2000. - ii,75 S. S. - Текст : непосредственный.Achenbach S. Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) : Diss. / S.Achenbach,F.J.Pantenburg,J.Mohr, 2000. - VI,138 S. S. - Текст : непосредственный.Плотников А.А. Обеспечение качества поверхностного слоя миниатюрных деталей и повышение производительности алмазного микровыглаживания на основе динамической стабилизации процесса : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.02.08 / А. А. Плотников, 2005. - 18 с. - Текст : непосредственный.Кравченко И.В. Разработка и исследование методов и средств проектирования микросистем с интегральными термоэлементами : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / И. В. Кравченко, 2005. - 23 с. - Текст : непосредственный.Иванов А.С. Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.11 / А. С. Иванов, 1995. - 20 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
Заказ фрагмента документа ₽