Полное описание

Данилина, Т. И. Технология кремниевой наноэлектроники : учеб. пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Том. ун-т систем упр. и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 318 с. : ил. - Библиогр.: с. 317-318 (23 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-86889-713-9. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.38-022.532

Рубрики:
Наноэлектроника

Доп. точки доступа:
Кагадей, В.А.
Анищенко, Е.В.
Томский гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-15/30780)

Шифр в сводном ЭК: 5030e1a2a978555dde19eba50a002f9d

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽