• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Яковлев, С. П. Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / С. П. Яковлев. - М., 2001. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с.17-19 (10 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.382.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-5714)

    Шифр в сводном ЭК: 5262133bbc895256f73f0a9bfc768866



    Заказ фрагмента документа ₽