• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Макаров, А. С. Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / А. С. Макаров. - М., 2000. - 20 с. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 17-19(13 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592.002:621.923(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР01-751)

    Шифр в сводном ЭК: babc2a9445d21a8770eec722f6423b80



    Заказ фрагмента документа ₽