• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Абрамова, Е. Н. Механизм образования пор в Si n- и p-типов проводимости при его электрохимическом травлении в растворах фтористоводородной кислоты : 02.00.04 - Физическая химия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук / Е. Н. Абрамова. - 2019. - 37 с. : ил. - Библиогр.: с. 34-37. - 75 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592:621.794(043)

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПОЛУЧЕНИЕ -- ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ -- ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар19-5875)

    Шифр в сводном ЭК: 6c9f61ac4c14f014be9b02de4734b307



    Заказ фрагмента документа ₽