• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Maskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagung,Munchen,14.Nov.1991. - Dusseldorf : VDI-Verl., 1991. - 137 S. : Ill. - (VDI-Berichte / Verein dt.Ing. ; N935). - ISBN 3-18-090935-8. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.77-047.84:776(062)
    47.01.13

    Рубрики:
    Фотомаски -- Съезды и конференции

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/1842/935)

    Шифр в сводном ЭК: 1a083af98e2797be9e792367612b2455



    Заказ фрагмента документа ₽