• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Технология материалов микро- и наноэлектроники / Л. В. Кожитов [и др.]. - М. : МИСИС, 2007 (М.). - 543 с. : ил. - (Металлургия и материаловедение XXI века). - Библиогр. в конце глав. - 1000 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09621.3.049.76-03
    621.384-022.532-03

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Материалы
    Наноэлектронные устройства -- Материалы

    Доп. точки доступа:
    Кожитов, Л.В.
    Косушкин, В.Г.
    Карпухин, В.В.
    Пархоменко, Ю.Н.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-07/40549)

    Шифр в сводном ЭК: 3ef617623a9e22b5eb7028fa03006743



    Заказ фрагмента документа ₽