• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Аникин, А. В. Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.11.14 / А. В. Аникин. - М., 2006. - 16 с. - Библиогр.: с. 15-16. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77.002:658.562(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-1962)

    Шифр в сводном ЭК: f9b18e30465df4898080b2efac6a1568



    Заказ фрагмента документа ₽