• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Rosen, B. Molekularstrahlepitaxie von Eisensilizidschichten aus gasformigen Quellen auf Si(100) und Si(111) : Diss. / B.R@:osen. - Aachen, 1994. - 126 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.119-123

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:539.23(043)

    Рубрики:
    Полупроводниковые пленки -- Производство

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/25867)

    Шифр в сводном ЭК: 2b4c358d23a60489d0019a347391092f



    Заказ фрагмента документа ₽