ГПНТБ России - Полное описание

Государственная публичная
научно-техническая библиотека России

Основана в 1958 году

Полное описание

Workshop on micromachining,micromechanics and microsystems (6 ; 1995 ; Copenhagen). Featuring papers presented at the 6th workshop on micromachining,micromechanics and microsystems,Copenhagen,3-5 Sept.1995 / MME'95. - Woodbury(NY) : [s. n.], 1996. - 196 p. : ill. - (Journal of micromechanics and microengineering ; vol.6,N 1,1996). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4(062)

Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W12095/Vol.6,N 1,1996)

Шифр в сводном ЭК: 3046f4e67c7385fe17dbb36df6c57bf3

Journal of Micromechanics and Microengineering. - Журнал выходит с 1991г. r=on-line. - Текст : электронный.

Лицевая сторона карточки	Обратная сторона карточки

Лицевая сторона карточки	Обратная сторона карточки

Featuring papers presented at the 6th workshop on micromachining,micromechanics and microsystems,Copenhagen,3-5 Sept.1995 / MME'95, 1996. - 196 p. - Текст : непосредственный.Selected of the best work presented at the 7th workshop on micromachining..Barcelona,21-22 Oct.1996 / MME'96, 1997. - 89-262 p. p. - Текст : непосредственный.

Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.

Показать все результаты

Лицевая сторона карточки	Обратная сторона карточки

Лицевая сторона карточки	Обратная сторона карточки

Лицевая сторона карточки	Обратная сторона карточки

Международная научно-практическая конференция "Интеллектуальные системы и микросистемная техника" : 6-12 февр. 2017 г., пос. Эльбрус, Кабардино-Балкария, Россия: сб. тр. / Нац. исслед. ун-т "МИЭТ", Кабард.-Балк. ун-т им. Х. М. Бербекова, 2017. - 227 с. - Текст : непосредственный.Научно-практическая конференция "Интеллектуальные системы и микросистемная техника" : Россия, Кабардино-Балкария, пос. Эльбрус, дата проведения: 3-9 февраля 2019 г.: сборник трудов / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х. М. Бербекова, 2019. - 299 с. - Текст : непосредственный.Специализированное приборостроение, метрология, теплофизика, микротехника, нанотехнологии : междунар. науч. конф., 10-20 апр. 2012 г. : сб. материалов : в 2 т. Т. 1, 2012. - 252 с. - Текст : непосредственный.Гео-Сибирь-2007 : сборник материалов III Международного научного конгресса / Сибирская гос. геодезическая академия (Новосибирск). Т. 4 : Специализированное приборостроение, метрология, теплофизика, микротехникач.1, 2007. - 259 с. - Текст : непосредственный.2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik,28./29.Nov.1995 im Forschungszentrum Karlsruhe / Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik (2; 1995; Karlsruhe), 1995. - II,207 S. S. - Текст : непосредственный.Ultimate limits of fabrication and measurement : Proc.of the NATO advanced research workshop on ultimate limits of fabrication and measurement,Cambridge,Apr.1-3,1994 / ed. M. E. Welland, ed. J. K. Gimzewski, 1995. - X,254 p. p. - Текст : непосредственный.Programm Mikrosystemtechnik, 30-31 Marz 2000 im Forschungszentrum Karlsruhe / Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik (4; 2000; Karlsruhe), 2000. - S20,244 S. S. - Текст : непосредственный.Workshop zum Thema "Simulationen in der Mikrosystemtechnik", 26 Oktober 2000 im Forschungszentrum Karlsruhe : Zusammengestellt von der ProgrammleitungProgramm Mikrosysttemtechnik, 2000. - 273 p. - Текст : непосредственный.Sensors and Microsystems : Proc. of the 17th National Conf., Brescia, Italy, 5-7 February 2013 / ed. C. D. Natale et al., 2014 r=on-line. - Текст : электронный.Particles in gases and liquids : Proc.of the symp.on particles in fluids / Ed.:K.L.Mittal. N 1 : Detection, characterization, and control : Proc.of the symp.held Aug.3-7, 1987, Boston(Ma), 1989. - VIII,303 p. p. - Текст : непосредственный.Featuring papers presented at the 6th workshop on micromachining,micromechanics and microsystems,Copenhagen,3-5 Sept.1995 / MME'95, 1996. - 196 p. - Текст : непосредственный.Специализированное приборостроение, метрология, теплофизика, микротехника, нанотехнологии : междунар. науч. конф., 10-20 апр. 2012 г. : сб. материалов : в 2 т. Т. 2, 2012. - 281 с. - Текст : непосредственный.Material- und Verfahrensentwicklung fur mikrotechnische Hochleistungsbauteile : Strategiefondsprojekt der Hermann von Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren: Statuskolloquim am 25 Oct.im Karlsruhe / Zusammengestellt von K.-H.Zum Gahr, 2000. - 161 S. - Текст : непосредственный.Selected of the best work presented at the 7th workshop on micromachining..Barcelona,21-22 Oct.1996 / MME'96, 1997. - 89-262 p. p. - Текст : непосредственный.1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik,23-24 Sept.1993 im Kernforschungszentrum Karlsruhe / Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik (1; 1993; Karlsruhe), 1993. - 189 S. - Текст : непосредственный.ГЕО-Сибирь-2011 : VII Междунар. выставка и науч. конгр., 19-29 апр. 2011 г. Т. 5 : Специализированное приборостроение, метрология теплофизика, микротехника, нанотехнологии : сб. материалов VII Междунар науч. конгр.Ч. 2, 2011. - 258 с. - Текст : непосредственный.Particles on surfaces : Proc.of a symp. N 1 : Detection, adhesion, and removl : Proc.of and symposium held July 28-Aug.2, 1986 in San Francisco(Ca) / ed. K. L. Mittal, 1988. - IX,384 p. p. - Текст : непосредственный.

Показать все результаты

Featuring papers presented at the 6th workshop on micromachining,micromechanics and microsystems,Copenhagen,3-5 Sept.1995 / MME'95, 1996. - 196 p. - Текст : непосредственный.

Заказ фрагмента документа ₽