• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Тимошенков, С. П. Технология формирования структур "кремний на изоляторе" : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.27.06 / С. П. Тимошенков. - М., 2004. - 45 с : ил. - Библиогр.: с. 33-45(105 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592.9.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-сф182)

    Шифр в сводном ЭК: 6a45efb1117c593aeee93b8704c3eb55



    Заказ фрагмента документа ₽