• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Schwizer, J. Force sensors for microelectronic packaging applications / J. Schwizer, M. Mayer, O. Brand ; SpringerLink (Online service). - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005. - on-line. - (Microtechnology and mems). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/b138345. - ISBN 978-3-540-26945-8. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76-048.52

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- МОНТАЖ -- ОБОРУДОВАНИЕ
    Доп. точки доступа:
    Mayer, M.
    Brand, O.
    SpringerLink (Online service)

    http://dx.doi.org/10.1007/b138345


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 621.3.049.76-048./S39-366075)

    Шифр в сводном ЭК: 9b1daead0ee72162c6b57ecb673814eb



    Просмотр издания