Полное описание

Путря, М. Г. Плазменные методы формирования трехмерных структур УБИС : учеб. пособие / М. Г. Путря. - М. : МИЭТ, 2005 (М.). - 128 с. : ил. - Библиогр.: с. 124-126(34 назв.). - 100 экз. - ISBN 5-7256-0414-4. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электронной техники (ТУ)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14.002

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-05/21643)

Шифр в сводном ЭК: 3be04ed6fbbfb7695819368c98ba96bf

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽