• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Александров, О. В. Технологические процессы изготовления СБИС : учеб. пособие / О. В. Александров. - СПб. : ЛЭТИ, 2005 (СПб.). - 56 с. : ил. - Библиогр.: с. 54 (16 назв.). - 75 экз. - ISBN 5-7629-0639-6. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ"

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14.002

    Рубрики:
    Интегральные схемы большие -- Производство

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-05/33171)

    Шифр в сводном ЭК: 226a6ff77c14b63a8aabab9329b6d73e



    Заказ фрагмента документа ₽