• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Мустафаев, А. Г. Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Г. Мустафаев. - Владикавказ, 2006. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17(11 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-2872)

    Шифр в сводном ЭК: 4113166faf0e52a2ab55450e1d5245e8



    Заказ фрагмента документа ₽