Полное описание
> Лазерографический комплекс для микротехнологии и эксперименты по лазерно-стимулированным процессам на поверхности полупроводников / А.С.Ахманов,В.Ю.Гусев,А.С.Ковалев и др. - М. : [б. и.], 1991. - 27 с. : ил. - (Препринт ; 91-19/223). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.315.592.002:621.373.8(04) |
Рубрики:
Полупроводники -- Обработка лазерная
Кл.слова (ненормированные): ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА -- ПОЛУПРОВОДНИК
Доп. точки доступа:
Ахманов, А.С.
Гусев, В.Ю.
Ковалев, А.С.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/45578/91-19/223)>
Шифр в сводном ЭК: f910d8b104b7090dd5597c925fb44387
Гусев В.Ю. Модели валютного обмена и инфляции в открытой рыночной экономике : специальность 08.00.13 "Математические и инструментальные методы экономики" : диссертация на соискание ученой степени канд. экон. наук / В. Ю. Гусев, 2005. - 22 c. - Текст : непосредственный.Крутов В.И. Современные конструкции и технологии устройства фундаментов в уплотненном грунте / В. И. Крутов, А. С. Ковалев, В. А. Ковалев, 2016. - 149 с. - Текст : непосредственный.
Лазерный комплекс для специализации интегральных схем и микрообработки / А.С.Ахманов,В.Ю.Гусев,А.В.Кеков и др., 1992. - 19 с. - Текст : непосредственный.Диалкилгидразиды, диацилгидразины и диметилалкилгидразиниевые соли. Получение, свойства и применение в процессах концентрирования металлов / А. В. Радушев [и др.], 2012. - 205 с. - Текст : непосредственный.Гусев В.Ю. Извлечение меди и солей некоторых d-и s-элементов из растворов гидразидами алифатических и нафтеновых кислот : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:02.00.01 / В. Ю. Гусев, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Ковалев А.С. Новейшая информатика : монография / А. С. Ковалев, 2007. - 219 с. - Текст : непосредственный.Лазерографический комплекс для микротехнологии и эксперименты по лазерно-стимулированным процессам на поверхности полупроводников / А.С.Ахманов,В.Ю.Гусев,А.С.Ковалев и др., 1991. - 27 с. - Текст : непосредственный.Волкова Е.А. Моделирование лазерно-стимулированных процессов травления и осаждения в микротехнологии / Е. А. Волкова, А. С. Ковалев, А. М. Попов, 1991. - 24 с. - Текст : непосредственный.Иощенко Е.С. Стеклоиономерные цементы / Е. С. Иощенко, В. Ю. Гусев, О. Н. Глотова, 2003. - 86 с. - Текст : непосредственный.Ковалев А.С. Развитие теоретико-методических основ учета непроизводственных затрат фирмы : автореф. дис. .. канд. экон. наук: 08.00.12 / А. С. Ковалев, 2015. - 21 с. - Текст : непосредственный.Электромагнитная совместимость радиоэлектронных комплексов / С. В. Бабуров [и др.]; под науч. ред. Ю. Г. Шатракова, 2015. - 231 с. - Текст : непосредственный.Ковалев А.С. Исследование теплоотдачи в спиральных парогенерирующих элементах и интенсификация теплообмена : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:01.04.14 / А. С. Ковалев, 1994. - 19 с. - Текст : непосредственный.Крутов В.И. Проектирование и устройство оснований и фундаментов на просадочных грунтах / В. И. Крутов, Н. А. Ковалев, А. С. Ковалев, 2013. - 543 с.Крутов В.И. Проектирование и устройство оснований и фундаментов на просадочных грунтах / В. И. Крутов, Н. А. Ковалев, А. С. Ковалев, 2013. - 543 с. - Текст : непосредственный.Ковалев А.С. Формы и методы инвестиционного обеспечения инновационного развития АПК : автореф. дис. .. канд. экон. наук: 08.00.05 / А. С. Ковалев, 2013. - 24 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
Боднар О.Я. Динамическая симметрия / О. Я. Боднар, 1990. - 69 с. - Текст : непосредственный.Спектр спиновых возбуждений в негейзенбергских антиферромагнетиках со структурой La2 Ni O4 с учетом мультиплетности атомных состояний / М. Б. Гусейнов, Х. М. Пашаев, Н. Г. Гусейнов, М. Т. Касумов, 1991. - 34 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов В.А. Метод вынуждения с точки зрения формальной системы G+ генценовского типа / В. А. Кузнецов, 1991. - 59 с. - Текст : непосредственный.Солдатенко Г.А. Постоянные магниты в осветителе электронного микроскопа высокого разрешения / Г. А. Солдатенко, 1988. - 16 c. - Текст : непосредственный.Кристовский Г.В. Электронно-физическое моделирование КМОП БИС / Г. В. Кристовский, Л. А. Маслова, Ю. В. Фастовец, 1990. - 15 с. - Текст : непосредственный.Герман-Галкин С.Г. Применение силовых полупроводниковых приборов в преобразовательной технике / С. Г. Герман-Галкин, В. А. Рудский, Н. Н. Юрченко, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный.Новицкий В.В. Декомпозиция линейных управляемых систем / В. В. Новицкий, 1990. - 27 с. - Текст : непосредственный.Новицкий В.В. Декомпозиция и модальное управление в линейных системах / В. В. Новицкий, 1990. - 27 с. - Текст : непосредственный.Федорин Я.В. Метод численного моделирования конвективного и адвективного тепломассопереноса для многослоистых сред / Я. В. Федорин, 1990. - 29 c. - Текст : непосредственный.Богданов Ю.И. Вынужденное излучение трубчатого электронного пучка в ондуляторе с переменным периодом / Ю. И. Богданов, 1990. - 10 с. - Текст : непосредственный.Сидоренко И.Н. Particle loss regions in phase space for torsatron configurations. 1 / И. Н. Сидоренко, А. А. Шишкин, 1990. - 16 p. - Текст : непосредственный.Чечкин В.В. On a mechanism of antenna phasing effect on impurity production during icrf plasma heating / В. В. Чечкин, Л. И. Григорьева, 1990. - 15 p. - Текст : непосредственный.Коллективное взаимодействие моноэнергетических РЭП большой энергии с плазмой / А. К. Березин, В. А. Киселев, И. Н. Онищенко, Я. Б. Файнберг, 1989. - 16 c. - Текст : непосредственный.Салеев В.А. J/ production in hadron-nucleus and nucleus-nucleus collisions at high energies / В. А. Салеев, Н. П. Зотов, 1990. - 17 p. - Текст : непосредственный.Многоцелевой детекторный модуль для регистрации нейтронов в околеземном пространстве / М. И. Панасюк, П. И. Шаврин, О. Ю. Нечаев, 1990. - 23 с. - Текст : непосредственный.Возбуждение колебаний при взаимодействии электронного пучка с создаваемой им плазмой / Ю. П. Блиох, Н. М. Землянский, М. Г. Любарский, 1990. - 7 c. - Текст : непосредственный.Качаловская Н.Е. Равновесие упругой среды с эллипсоидальной неоднородностью при условии гладкого контакта на ее границе / Н. Е. Качаловская, А. Ф. Улитко, 1989. - 34 с. - Текст : непосредственный.Информационная система "ГИС-сейсморазведка" при детальном изучении строения нефтегазовых объектов / Е. А. Галаган, П. Г. Гильберштейн, Л. В. Кузнецова, 1989. - 81 c. - Текст : непосредственный.Рыков В.А. Передача импульса молекулам газа дрейфовыми потоками ионов и электронов / В. А. Рыков, А. В. Худяков, 1999. - 13 с. - Текст : непосредственный.Беляев Ю.Э. Моделирование роста фрактальных кластеров в газовой фазе / Ю. Э. Беляев, Ю. Е. Лозовик, А. А. Пурецкий, 1991. - 31 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВиноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЛазерографический комплекс для микротехнологии и эксперименты по лазерно-стимулированным процессам на поверхности полупроводников / А.С.Ахманов,В.Ю.Гусев,А.С.Ковалев и др., 1991. - 27 с. - Текст : непосредственный.К вопросу о резонансном поглощении кремнием излучения СО лазера: влияние имплантации кислорода / С.Д.Зотов,Е.М.Кудрявцев,В.В.Кривов,Э.Н.Лоткова, 1996. - 21 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽