• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Киреев, В. Ю. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / В. Ю. Киреев, А. А. Столяров. - М. : Техносфера, 2006. - 190 с. : ил. - (Мир электроники). - Библиогр.: с. 188-190 (52 назв.). - 1500 экз. - ISBN 5-94836-039-3. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
    Доп. точки доступа:
    Столяров, А.А.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-06/19238)

    Шифр в сводном ЭК: 90ac46c435a8029eb28e7f445acbfd63



    Заказ фрагмента документа ₽