Полное описание
> Киреев, В. Ю. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / В. Ю. Киреев, А. А. Столяров. - М. : Техносфера, 2006. - 190 с. : ил. - (Мир электроники). - Библиогр.: с. 188-190 (52 назв.). - 1500 экз. - ISBN 5-94836-039-3. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.76.002
Рубрики: Микроэлектронные приборы -- Производство
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа: Столяров, А.А.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-06/19238)>
Шифр в сводном ЭК: 90ac46c435a8029eb28e7f445acbfd63
Книжная индустрия. - Журнал, 2008г. № 4. - Текст : непосредственный. Ленский Б. В. Ситуация на книжном рынке России: 2011-2012 гг. / Б. В. Ленский, А. Н. Воропаев, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Книга. Исследования и материалы : сборник / Российская академия наук, Научный совет "История мировой культуры". - M. : Наука, 2012. - № 98-99. - с. 60-75 Киреев В.Ю. Физико-химические и технологические основы проектирования и разработки процессов и оборудования сухого размерного травления функциональных слоев микросхем : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. Ю. Киреев, 1991. - 40 с. - Текст : непосредственный. Ленский Б. В. Книжный рынок Росии в 2012 году / Б. В. Ленский, А. Н. Воропаев, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Книга. Исследования и материалы : сборник / Рос. кн. палата, НИИ книги. - M. : Наука, 2013. - № 99/1-2. - с. 5-26 Адамс Ч. Влияние налогов на становление цивилизации / Ч. Адамс ; Пер.: А. А. Столяров, А. А. Резвов, 2018. - 638 с. - Текст : непосредственный. Книжный рынок России. Состояние, тенденции и перспективы развития : отраслевой доклад / Б. В. Ленский, А. Н. Воропаев, Е. В. Соловьёва [и др.]; под общей редакцией В. В. Григорьева, 2018. - 85 с. - Текст : непосредственный. Книжный рынок России. Состояние, тенденции и перспективы развития : отраслевой доклад / Б. В. Ленский, А. Н. Воропаев, Е. В. Соловьёва [и др.]; под общей редакцией В. В. Григорьева, 2016. - 101 с. - Текст : непосредственный. Книжный рынок России. Состояние, тенденции и перспективы развития : отраслевой доклад / Б. В. Ленский, А. Н. Воропаев, Е. В. Соловьёва [и др.]; под общей редакцией В. В. Григорьева, 2017. - 92 с. - Текст : непосредственный. Литвин В.С. Результаты моделирования и измерения первых спектров на нейтронном рефлектометре-малоугловом спектрометре "Горизонт" на импульсном источнике нейтронов ИН-06 / В. С. Литвин, А. А. Столяров, Р. А. Садыков, 2013. - 16 с. - Текст : непосредственный. Столяров А.А. Совершенствование технологических операций формирования и наматывания пряжи на кольцевой прядильной машине : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.19.02 / А. А. Столяров, 2006. - 18 с. - Текст : непосредственный. Семь десятилетий установления дипломатических отношений между Россией и Индией : круглый стол 13 апреля 2017 г. / Российский государственный гуманитарный университет [и др.], 2018. - 87 с. - Текст : непосредственный. Ленский Б.В. Книжный рынок России. Состояние, тенденции и перспективы развития : отраслевой доклад / Б. В. Ленский, А. Н. Воропаев, А. А. Столяров, 2010. - 96 с. - Текст : непосредственный. Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 16 : Физические основы наноинженерии / В. В. Андреев, А. А. Столяров, 2011. - 223 с. - Текст : непосредственный. Книжная индустрия. - Журнал, 2009г. № 10. - Текст : непосредственный. Ленский Б. В. Книжная индустрия: quo vadis? / Б. В. Ленский, А. Н. Воропаев, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Книжная индустрия : Журн. - М. : Вертикаль, 2009. - N 10. - с. 44 Книжная индустрия. - Журнал, 2009г. № 8. - Текст : непосредственный. Киреев В.Ю. Введение в технологии микроэлектроники и нанотехнологии / В. Ю. Киреев, 2008. - 431 с. - Текст : непосредственный. Ленский Б. В. Европа и Книга / Б. В. Ленский, А. Н. Воропаев, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Книжная индустрия : Журн. - М. : Вертикаль, 2009. - N5. - с. 46-47 Столяров А.А. Разработка технологии формирования пряжи повышенной прочности в условиях высокоскоростного кольцепрядения : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.19.02 / А. А. Столяров, 2012. - 44 с. - Текст : непосредственный. Киреев В.Ю. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / В. Ю. Киреев, А. А. Столяров, 2006. - 190 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Гуртов В.А. Твердотельная электроника / В. А. Гуртов, 2005. - 406 с. - Текст : непосредственный. Медведев А.М. Печатные платы. Конструкции и материалы / А. М. Медведев, 2005. - 302 с. - Текст : непосредственный. Белоус А.И. СВЧ-электроника в системах радиолокации и связи : техн. энцикл. : в 2 кн. Кн. 1, 2016. - 685 с. - Текст : непосредственный. Белоус А.И. СВЧ-электроника в системах радиолокации и связи : техн. энцикл. : в 2 кн. Кн. 2, 2016. - С. 691-1415 с. - Текст : непосредственный. Датчики / В. М. Шарапов, Е. С. Полищук, Н. Д. Кошевой [и др.] ; ред.: В. М. Шарапов, В. С. Полищук, 2012. - 616 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный. Микросхемы для аппаратуры космического назначения : выставочные материалы / В. В. Коняхин, А. Н. Денисов, Р. А. Фёдоров [и др.] ; Ред. А. Н. Сауров, 2017. - разд. паг. с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Семенов Ю.Г. Контроль качества / Ю. Г. Семенов, 1990. - 111 c. - Текст : непосредственный. Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Кормилицын О.П. Механика материалов и структур нано- и микротехники : учебное пособие / О. П. Кормилицын, Ю. А. Шукейло, 2008. - 216 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Ермаков А.В. Исследование механизмов создания наноструктур на поверхности твердого тела с помощью сканирующего туннельного микроскопа и микроскопа атомных сил : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. В. Ермаков, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Элионная обработка / О. С. Моряков, 1989. - 128 c. - Текст : непосредственный. Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный. Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный. Новые магнитные материалы микроэлектроники, 2000. - 889 с. - Текст : непосредственный. Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник научных трудов / Ред. В. А. Курчидис, 1997. - 168 с. - Текст : непосредственный. Растова Н.А. Энергетический спектр электронов в двумерных ковалентных структурах с локальными дефектами на поверхности / Н. А. Растова, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный. Мазуренко С.Н. Синхронное излучение в технологических процессах микроэлектроники / С. Н. Мазуренко, В. В. Мануйлов, В. М. Матвеев, 1994. - 75 c. - Текст : непосредственный. Бакланов М.Р. Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si,Ge и SiO : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени / М. Р. Бакланов, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный. Умаров С.И. Взаимодействие алюминия со стронцием, индием и кремнием и разработка высокочистых алюминиевых сплавов : специальность 02.00.01 "Неорганическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук / С. И. Умаров, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный. Давыдов В.Н. Исследование и разработка двухкоординатных систем прецизионного перемещения в вакуумных корпускулярно-лучевых установках : специальность 05.13.05 "Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. Н. Давыдов, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽