• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Жукова, С. А. Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полимидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.02.01 / С. А. Жукова. - М., 2004. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22(5 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    61.59.31621-181.4(043)
    47.13.11

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-11479)

    Шифр в сводном ЭК: a6b732e4de916c6a9ac4fe2ecdb5ae74



    Заказ фрагмента документа ₽