• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Антоненко, К. И. Голографическая диагностика газофазных процессов микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / К. И. Антоненко. - М., 2000. - 35 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 33-35(14 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.3.049.76:658.562(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-сф242)

    Шифр в сводном ЭК: e532ebc6e32644fcb6c7dc41eef8fa15



    Заказ фрагмента документа ₽