Приложение
для AndroidПолное описание
Сабирзянов, Н. Р. Разработка криовакуумного обеспечения нанотехнологических установок : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.04.03 / Н. Р. Сабирзянов. - 2006. - 20 с : ил. - Библиогр.: с. 19-20(9 назв.). - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.38.002.5(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар06-10774)
Шифр в сводном ЭК: 6f0bc7882cdba0b407835213ee5dd345
Сканирующие зондовые микроскопы : учебное пособие / С. Б. Нестеров, Б. А. Логинов, О. С. Зилова, Н. Р. Сабирзянов, 2007. - 199 с. - Текст : непосредственный.Сабирзянов Н.Р. Разработка криовакуумного обеспечения нанотехнологических установок : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.04.03 / Н. Р. Сабирзянов, 2006. - 20 с. - Текст : непосредственный.
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВасиленко Н.В. Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения : специальность 05.27.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / Н. В. Василенко, 2000. - 49 с. - Текст : непосредственный.Горбаренко В.А. Активные оптические системы лазерных технологических установок для обработки и визуального контроля : специальность 05.27.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Горбаренко, 1991. - 40 с. - Текст : непосредственный.Курбатов О.К. Физико-технические основы создания оптимизированных высоковакуумных магниторазрядных насосов, герметизирующих элементов и устройств для вакуумного технологического и аналитического оборудования электронной техники : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.26 / О. К. Курбатов, 2006. - 43 с. - Текст : непосредственный.Хрусталев В.А. Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.09.10 / В. А. Хрусталев, 2002. - 32 с. - Текст : непосредственный.Русанов А.В. Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / А. В. Русанов, 2009. - 16 с. - Текст : непосредственный.Жарский В.В. Методы расчета и построения координатных систем с расширенным диапазоном точностных и динамических характеристик : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / В. В. Жарский, 2001. - 21 с. - Текст : непосредственный.Кеменов В.Н. Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук: 05.27.07 / В. Н. Кеменов, 2000. - 42 с. - Текст : непосредственный.Сабирзянов Н.Р. Разработка криовакуумного обеспечения нанотехнологических установок : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.04.03 / Н. Р. Сабирзянов, 2006. - 20 с. - Текст : непосредственный.Кукушкин Н.В. Технологические аспекты применения импульсных магнитных полей в оборудовании для производства изделий электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / Н. В. Кукушкин, 1990. - 24 с. - Текст : непосредственный.Коллеров Э.П. Разработка специализированной элементной базы, функциональных устройств и систем, создание на их основе физико-технологических комплексов и нового поколения спецоборудования электронной техники для высокоэнергетических технологий : Дис. на соискание ученой степени канд. техн. наук в форме науч. докл.: 05.27.07 / Э. П. Коллеров, 1990. - 36 с. - Текст : непосредственный.Андрианов А.М. Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / А. М. Андрианов, 2000. - 21 с. - Текст : непосредственный.Шестаков В.Д. Трековые мембраны:теория, эксперимент, основы технологии промышленного производства,применение : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра.техн.наук:05.27.06 / В. Д. Шестаков, 1995. - 40 с. - Текст : непосредственный.Ивашов Е.Н. Теория и проектирование l-координатных исполнительных устройств оборудования электронной техники на стадиях предварительной разработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / Е. Н. Ивашов, 1993. - 44 с. - Текст : непосредственный.Прусаков Е.В. Моделирование процесса пленкообразования на стадиях предварительной разработки оборудования электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / Е. В. Прусаков, 2001. - 23 с. - Текст : непосредственный.Беликов А.И. Повышение вакуумных и фрикционных характеристик механизмов с твердосмазочным покрытием на основе дисульфида молибдена для вакуумного технологического оборудования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / А. И. Беликов, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Леонов Л.Б. Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / Л. Б. Леонов, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Ветров В.А. Разработка методов проектирования миниатюрных низковакуумных насосов для оборудования электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / В. А. Ветров, 2008. - 22 с. - Текст : непосредственный.Плесков Б.А. Метод и система контроля качества изделий из кварцевого стекла в процессе их плазменной обработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.11.13 / Б. А. Плесков, 1990. - 16 с. - Текст : непосредственный.Ивашов Е.Н. Обеспечение работоспособности L-координатных исполнительных устройств оборудования электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / Е. Н. Ивашов, 1992. - 51 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽