Полное описание

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7-ми моногр. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предел. технологий, 2012 - . - Текст : непосредственный.
7, Т. 2 : Микроинженерия монокристаллического кремния / К. Н. Андрианов [и др.]. - 2013. - 219 с. : ил. - Библиогр.: с. 187-215 (269 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-905872-15-0

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:548.5

Рубрики:
Кремний -- Кристаллизация

Аннотация: Дан обзор современного оборудования для выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского. Показано состояние работ в области создания такого оборудования. Обсуждены методология проектирования надежных, экологически чистых и виброустойчивых механических модулей ростового оборудования, включающая методики оценки точности позиционирования ведомого звена волновой резьбовой и зубчатой передачи, методики расчета элементов модулей перемещения на привносимый уровень загрязнений в технологический агрегат, методики определения собственных частот и коэффициентов демпфирования виброзащитных модулей ростового оборудования.
Доп. точки доступа:
Андрианов, К.Н.
Балан, Н.Н.
Васин, В.А.
Ивашов, Е.Н.
Степанчиков, С.В.

Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/67641/7/2)

Шифр в сводном ЭК: f698a633d66fb8500399d38794ab1c67

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽