• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Полиимиды в микроэлектронике / ВЦП. - 14 c. : ил. - Пер.ст. Polyimides in microelectronics / P. Burggraaf из журн.: // Semiconductor International. - 1988. - P. 58-61. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: 3 назв.
    ГРНТИ 47.33.37

    Рубрики:
    Полиимиды

    Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИК -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ПОЛИИМИДНАЯ ПЛЕНКА -- ПРОЦЕСС ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ -- СТАБИЛЬНОСТЬ ТЕМПЕРАТУРНАЯ -- СТОЙКОСТЬ РАДИАЦИОННАЯ
    Доп. точки доступа:
    Burggraaf, P.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 06933000659)

    Шифр в сводном ЭК: 5860d50be3b9a02e2947dba74ed92a17



    Заказ фрагмента документа ₽