• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Манакова, А. Ю. Измерение низкой альфа-активности материалов микроэлектроники: методика и оборудование : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 01.04.01 / А. Ю. Манакова. - 2009. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 25-26 (13 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.3.049.76:658.562(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-3125)

    Шифр в сводном ЭК: 2ac05808284e0a43d65e7d64d6d85594



    Заказ фрагмента документа ₽