• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ермакова, Е. Н. Плазмохимический синтез тонких слоев карбонитрида кремния из паров кремнийорганических соединений : автореф. дис. ... канд. хим. наук: 02.00.04 / Е. Н. Ермакова. - 2015. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (16 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    61.31.47661.68-416(043)

    Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ТЕРМОДИНАМИКА -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-1376)

    Шифр в сводном ЭК: 3acf9be55761604dae878f2ad5a49dc0



    Заказ фрагмента документа ₽