• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Лебедев, М. С. Тонкопленочные композиции на основе диоксида гафния и оксида алюминия : автореф. дис. ... канд. хим. наук: 02.00.04 / М. С. Лебедев. - 2010. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 19 (9 назв.) . - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09.31621.315.61-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): ГАЗОФАЗНОЕ ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ДИОКСИД ГАФНИЯ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- КР-СПЕКТРОСКОПИЯ -- МДП-СТРУКТУРЫ -- ОКСИД АЛЮМИНИЯ -- СИНТЕЗ -- ФАЗОВЫЙ СОСТАВ -- ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ
    Аннотация: Разработка получения слоев диоксида гафния и оксида алюминия с функцией диэлектрика с высоким значением диэлектрической проницаемости на основе полученных данных о зависимости функциональных свойств синтезируемых материалов от их химического строения и структуры.
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-27323)

    Шифр в сводном ЭК: 1e6d01eb8f79bff5ae8b54994430708a



    Заказ фрагмента документа ₽