• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Абдуллин, И. Ш. Подготовка поверхностей металлов, диэлектриков и полупроводников к нанесению покрытий с помощью неравновесной ВЧ плазмы пониженного давления : препринт / И.Ш.Абдуллин,Н.Ф.Кашапов. - Казань : [б. и.], 2000. - 16 с. : ил. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    55.22.15621.79.02(04)
    55.20.15621.9.04:533.9(04)

    Рубрики:
    Металлические поверхности -- Очистка плазменная
    Полупроводники -- Очистка плазменная
    Диэлектрики -- Очистка плазменная

    Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИК -- МЕТАЛЛИЧЕСКАЯ ПОВЕРХНОСТЬ -- ПЛАЗМЕННАЯ ОЧИСТКА -- ПОЛУПРОВОДНИК -- диэлектрик -- плазменная очистка
    Доп. точки доступа:
    Кашапов, Н.Ф.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-00/53850)

    Шифр в сводном ЭК: 891ca12f50f80f405423090b2bb53508



    Заказ фрагмента документа ₽