Полное описание
> Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011 - . - Текст : непосредственный. 8 : Физико-механические компоненты наносистем / Ю. В. Панфилов, В. М. Утенков, В. П. Михайлов. - 2011 (Москва). - 182 с. : ил. - Библиогр.: с. 178-179 (11 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-7038-3499-2
ГРНТИ УДК 47.13.31 621.3.049.77-047.84:776 47.13.33
Рубрики: Электронолитография
Аннотация: Механические, физико-химические и теплофизические свойства наноструктурированных материалов. Обработка поверхности с наноточностью (механическая, электрохимическая, электронно-лучевая, ионно-плазменная, лазерная). Наномодифицирование поверхности. Способы механического позиционирования с наноточностью (пьезоэлектрические, магнитострикционные, магнито- и электрореологические приводы движения). Способы демпфирования тепловых и механических воздействий при нанопозиционировании и нанообработке. Различные методы контроля.
Доп. точки доступа: Шахнов, В.А.\ред.\
Утенков, В.М.
Михайлов, В.П.
>
Экз-ры полностью 3239bee1fbafe7cbc8e97f8d0334a590 Нет сведений об экземплярах Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/66785/8)>
Шифр в сводном ЭК: 3239bee1fbafe7cbc8e97f8d0334a590
Панфилов Ю.В. Разработка математической модели анализа процесса осаждения примесей в трубопроводах криогенных систем : специальность 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Ю. В. Панфилов, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный. Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 13 : Автоматизированное проектирование наносистем / А. И. Власов [и др.], 2011. - 183 с. - Текст : непосредственный. Инженерия поверхности деталей / А. Г. Суслов, В. Ф. Безъязычный, Ю. В. Панфилов [и др.], 2008. - 318 с. - Текст : непосредственный. Михайлов В.П. Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа : специальность 05.13.06 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами(по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. П. Михайлов, 2003. - 32 с. - Текст : непосредственный. Электромагнитная совместимость преобразователей напряжения в составе электронной аппаратуры : препринт / Л. Д. Певзнер, В. Г. Костиков, В. А. Шахнов [и др.], 2010. - 37 с. - Текст : непосредственный. Конструкторско-технологическое проектирование электронной аппаратуры / К. И. Билибин, А. И. Власов, Л. В. Журавлева [и др.] ; Ред. В. А. Шахнов, 2005. - 534 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Михайлов, В. П. Лекции по уравнениям математической физики : Учеб. пособие. Ч. 2, 1997. - 68 с. - Текст : непосредственный. Михайлов В.П. Лекции по уравнениям математической физики : Учеб. пособие / В.П.Михайлов, 2001. - 206 с. - Текст : непосредственный. Костиков В.Г. Источники электропитания электронных средств. Схемотехника и конструирование : Учебник для студентов вузов по направлению "Проектирование и технология электрон. средств", "Конструирование и технология электрон.-вычисл. средств", "Радиотехника" / В. Г. Костиков, Е. М. Парфенов, В. А. Шахнов, 2001. - 343 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный. Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный. Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный. Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный. Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный. Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный. Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный. Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный. Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный. Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный. Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный. Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный. Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный. Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Моро У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 1Ч.1 / У. Моро, 1990. - 606 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 9 : Методы литографии в наноинженерии / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков, 2011. - 175 с. - Текст : непосредственный. Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 8 : Физико-механические компоненты наносистем / Ю. В. Панфилов, В. М. Утенков, В. П. Михайлов, 2011. - 182 с. - Текст : непосредственный. Hiroshima H. Sinopsis / H.Hiroshima, 2000. - II,55 p. p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 172 : Microlithography molecular imprinting / with contributions by H. Ito, J. D. Marty, M. Mauzak, 2005. - 276 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7286 : Nanokontaktdrucken mit AFM-gesteuert phasenseparierten Blockcopolymerschichten : Diss. / R. Groger, 2007. - VI, 130 S. - Текст : непосредственный. Валиев К.А. Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев, 1990. - 528 c. - Текст : непосредственный. Исследование численных моделей рассеяния электронов в твердой мишени применительно к высокоэнергетической электронной литографии / М.В.Силаков,Г.А.Бабушкин,К.А.Валиев и др, 2003. - 64 с. - Текст : непосредственный. Лыньков Л.М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа, 1999. - 205 с. - Текст : непосредственный. Марголин В.И. Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : Учеб.пособие / В.И.Марголин,В.А.Тупик, 2000. - 55 с. - Текст : непосредственный. Гайфуллин Б.Н. Система подготовки данных для электронно-лучевой литографии : Препринт / Б.Н.Гайфуллин, 1993. - 20 c. - Текст : непосредственный. Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 2, 1990. - С.613-1239. - Текст : непосредственный. Сейсян, Рубен Павлович. Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене / Р. П. Сейсян, 2024. - 133 с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Буторин, Павел Сергеевич. Эффективный плазменный источник излучения экстремального ультрафиолетового диапазона с длиной волны λ=11.2 им для нанолитографии: особенности физических процессов и методы управления интенсивностью : 1.3.6. оптика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Буторин Павел Сергеевич, 2025. - 32 с. - Текст : непосредственный. Заказать
Заказ фрагмента документа ₽