• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло / Л.Н.Александров,Р.В.Бочкова,А.Н.Коган,Н.П.Тихонова;Отв.ред.С.И.Стенин. - Новосибирск : Наука, сиб. отд-ние, 1991. - 167 с. : ил. - 890 экз. - Текст : непосредственный.
    На обл.авт.не указ.В надзаг.:АН СССР,Сиб.отд-ние,Ин-т физики полупроводников.Библиогр.:с.150-162(257 назв.).Предм.указ.:с.163-166.

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:539.23

    Рубрики:
    Полупроводниковые пленки -- Производство

    Доп. точки доступа:
    Александров, Л.Н.
    Бочкова, Р.В.
    Коган, А.Н.
    Тихонова, Н.П.
    Стенин, С.И.\ред.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-91/92977)

    Шифр в сводном ЭК: 7b50ae1b741cf5958ca6c835fb7492c9



    Заказ фрагмента документа ₽