• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Джонс, М. М. Влияние природы полимерной матрицы, фоточувствительного генератора кислоты и физических факторов на литографические свойства химически усиленных фоторезистов : автореф. дис. ... канд. хим. наук: 02.00.06 / М. М. Джонс. - 2012. - 29 с. : ил. - Библиогр.: с. 27-28 (8 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.17621.3.049.75-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): ФОРМИРОВАНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЯ -- ФОТОРЕЗИСТЫ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар12-24205)

    Шифр в сводном ЭК: f408d38b392c53049595e2692f733995



    Заказ фрагмента документа ₽