• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Шестопалов, М. Ю. Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / М. Ю. Шестопалов. - СПб, 1995. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: С.-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова (Ленина). Библиогр.: с.14-16(13 назв.)

    ГРНТИ УДК
    29.19539.23(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-3073)

    Шифр в сводном ЭК: fda3ed2bddd2cb6f17a7d8a84a899778



    Заказ фрагмента документа ₽