Полное описание

Боровцов, П. В. Литографические процессы в микроэлектронике : учеб.пособие / П.В.Боровцов. - Пермь : [б. и.], 1995. - 58 c. : ил. - 150 экз. - ISBN 5-88151-043-7. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Перм.гос.техн.ун-т.Библиогр.:с.55-57(20 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.17	621.3.049.77-047.84:776

Рубрики:
Фотолитография

Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-95/22677)

Шифр в сводном ЭК: c588486fb50ec136dc216f519b94ef86

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽