• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Шулунов, В. Р. Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 01.04.14 / В. Р. Шулунов. - Улан-Удэ, 2002. - 24 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 23-24(12 назв.)

    ГРНТИ УДК
    29.19539.23(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар03-1510)

    Шифр в сводном ЭК: d727d47d1188b38b194ea51cd8f33eaa



    Заказ фрагмента документа ₽