• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Моряков, О. С. Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве : учеб. пособие / О. С. Моряков. - М. : Высш. шк., 1974. - 141 с. : ил. - (Профтехобразование. Полупроводники). - Библиогр.: с. 139. - 7500 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592-047.84(075.3)

    Рубрики:
    Полупроводники -- Производство -- Учебники и пособия

    Электронный ресурс


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д4/31344)

    Шифр в сводном ЭК: 0c84bb1fd7b0967f0cca222b284763cc



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания