Полное описание

Бухалов, Л. Л. Физико-химические процессы при формировании активных структур на поверхности арсенида галлия и их оптический контроль при создании интегральных схем : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.04 / Л. Л. Бухалов. - СПб., 1993. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Санкт-Петербург. технол. ин-т. Библиогр.:с.18 (8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77.002:658.562(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-1710)

Шифр в сводном ЭК: 56bbee66fd76332f5dd1f213d8a96c8c

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽