• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Капустин, Е. Н. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / Е. Н. Капустин. - М., 2003. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 20 (6 назв.)

    ГРНТИ УДК
    29.19539.23(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар03-8501)

    Шифр в сводном ЭК: 63664c2f4a7a4678734856786eced849



    Заказ фрагмента документа ₽