Полное описание
> Калитеевская, Н. А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская. - СПб., 2001. - 22 с. + 100 экз. - Текст : непосредственный. В надзаг.: Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе РАН. Библиогр.: с. 21-22(8 назв.)
ГРНТИ УДК 47.13.35 621.3.049.77-047.84:776(043)
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-1304)>
Шифр в сводном ЭК: c089fb8463532bae4f0dc77924fe09cd
Гонов С.Ж. Особенности воздействия милли- и наносекундного лазерного излучения на полупроводниковые материалы твердотельной электроники : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. Ж. Гонов, 2007. - 16 с. - Текст : непосредственный. Жариков В.М. Исследование физических процессов взаимодействия излучения лазера на парах меди с материалами электронной техники и разработка технологии их прецизионной обработки : специальность 05.03.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. М. Жариков, 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный. Давыдов Н.Н. Научные основы совершенствования радиационно-лазерных систем испытания, обработки и контроля изделий электронного производства : специальность 05.13.01 "Системный анализ,управление и обработка информации (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / Н. Н. Давыдов, 2004. - 32 с. - Текст : непосредственный. Абрамишвили А.Д. Кристаллизация твердых растворов селенида свинца-селенида олова из паровой фазы под воздействием лазерного излучения : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. Д. Абрамишвили, 1991. - Текст : непосредственный. Масычев В.И. Разработка лазерного технологического оборудования управляемого объемного и поверхностного нагрева материалов электронной техники : специальность 05.27.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук / В. И. Масычев, 1997. - 43 с. - Текст : непосредственный. Горбаренко В.А. Активные оптические системы лазерных технологических установок для обработки и визуального контроля : специальность 05.27.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Горбаренко, 1991. - 40 с. - Текст : непосредственный. Новоселов А.Р. Исследование возможности создания мозаичных фотоприемников без потерь информации в изображении / А. Р. Новоселов, 2011. - 23 с. - Текст : непосредственный. Логунов Л.С. Свойства медных проводников, синтезированных методом лазерно-индуцированного осаждения металлов из раствора / Л. С. Логунов, 2016. - 30 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Новиков А.А. Физико-химические основы синтеза медь-фосфатных стеклообразных покрытий при воздействии лазерного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени Л. / А. А. Новиков, 1990. - 40 с. - Текст : непосредственный. Кияк С.Г. Модификация поверхности полупроводников лазерными импульсами миллисекундного и секундного диапазонов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / С. Г. Кияк, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный. Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 6(1440) : Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной техникеч. 1. Лазерный эрозионный факел и его основные свойства / Л.А.Сурменко,Ю.Д.Самаркин,Т.Л.Якушева,Н.Н.Федосенко, 1989. - 52 с. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 10(1543) : Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной технике : По дан.отеч.и зарубеж.печати за 1972-1989 гг.Ч. 2. Осаждение из лазерного эрозионного факела,формирование покрытия,свойства пленок / Ю.Д.Самаркин,Л.А.Сурменко,Т.Л.Якушева, 1990. - 53 с. - Текст : непосредственный. Большепаев О.Ю. Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / О. Ю. Большепаев, 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Коробко Ю.О. Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / Ю.О. Коробко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный. Mulder E.H. On the throuhput optimization of electron beam lithography systems : Diss. / E.H.Mulder, 1991. - Pag.var. - Текст : непосредственный. Ююкин Н.В. Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Н. В. Ююкин, 2006. - 16 с. - Текст : непосредственный. Марголин В.И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин, 1998. - 29 с. - Текст : непосредственный. Никулина Е.А. Измерение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.07 / Е. А. Никулина, 2016. - 18 с. - Текст : непосредственный. Назина Л.И. Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный. Семин Ю.Ф. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный. Филатова М.С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова, 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный. Домненко В.М. Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко, 1999. - 18 с. - Текст : непосредственный. Суханов Я.Н. Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.08, 01.04.04 / Я. Н. Суханов, 2005. - 19 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽