• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Герасимов, В. А. Физико-химические закономерности модифицирования примесно-дефектного состава кремния в структурах кремний на сапфире : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 02.00.04 / В. А. Герасимов. - 2015. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-048.25(043)

    Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИКИ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- МОДИФИКАЦИЯ -- ПРИМЕСНО-ДЕФЕКТНЫЙ СОСТАВ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-10335)

    Шифр в сводном ЭК: cc870435dadb81135f56afd4f8ef049d



    Заказ фрагмента документа ₽