• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Михайлов, М. А. Система прецизионного механического перемещения для повышения пространственного разрешения и точности измерений линейных размеров в сканирующем зондовом микроскопе : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.11.01 / М. А. Михайлов. - 2015. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22 (9 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.35.43621.385.833.2(043)

    Кл.слова (ненормированные): ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ -- ПЕРЕМЕЩЕНИЯ СКАНЕРОВ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-10496)

    Шифр в сводном ЭК: 349746a62974b7ba9e10beb87d92dea0



    Заказ фрагмента документа ₽