Приложение
для AndroidПолное описание
Клунникова, Ю. В. Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники : специальность 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Ю. В. Клунникова. - 2019. - 40 с. : ил. - Библиогр.: с. 32-40 (128 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.384-047.84(043) | |
| 621.38-03-047.84(043) |
Кл.слова (ненормированные): ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ САПФИРА -- ГОРИЗОНТАЛЬНАЯ НАПРАВЛЕННАЯ КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ -- КАЧЕСТВО КРИСТАЛЛОВ -- ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА -- МАТЕРИАЛЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- САПФИР -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар19-2868)
Шифр в сводном ЭК: aac4a0e07ab2799dbcfc4e2f47d3d0a4
Клунникова Ю.В. Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники : специальность 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Ю. В. Клунникова, 2019. - 40 с. - Текст : непосредственный.Клунникова Ю.В. Разработка математических моделей и алгоритмов оптимизации производства изделий из сапфира для электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.01 / Ю. В. Клунникова, 2011. - 19 с. - Текст : непосредственный.Клунникова Ю.В. Физико-технологические основы создания подложек сапфира для приборов твердотельной электроники : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.01, 05.27.06 / Ю. В. Клунникова, 2016. - 40 с. - Текст : непосредственный.Малюков, Сергей Павлович. Лазеры в микро- и наноэлектронике : Учебное пособие / С.П. Малюков, 2018. - 111 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Палий, Александр Викторович. Тепловой режим электронной аппаратуры : Учебное пособие / Южный федеральный университет, 2016. - 109 с. - Текст : электронный.
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыНоженков М.В. Научные основы расчета и выбора режимов формирования в вакууме защитных покрытий со сверхнизким трением : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / М. В. Ноженков, 2013. - 32 с. - Текст : непосредственный.Клунникова Ю.В. Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники : специальность 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Ю. В. Клунникова, 2019. - 40 с. - Текст : непосредственный.Клунникова Ю.В. Разработка математических моделей и алгоритмов оптимизации производства изделий из сапфира для электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.01 / Ю. В. Клунникова, 2011. - 19 с. - Текст : непосредственный.Клунникова Ю.В. Физико-технологические основы создания подложек сапфира для приборов твердотельной электроники : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.01, 05.27.06 / Ю. В. Клунникова, 2016. - 40 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов П.С. Разработка и исследование устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием и минимальным дестабилизирующим воздействием на вакуумную среду оборудования высоких технологий : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / П. С. Кузнецов, 2012. - 26 с. - Текст : непосредственный.Белов А.И. Синтез и модификация свойств светоизлучающих кремниевых и кремний-углеродных нанокластеров в оксидных слоях с применением ионной имплантации : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / А. И. Белов, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный.Кирикова К.Е. Разработка технологических процессов синтеза и методов исследования керамических композиционных слоев при плазменной обработке в электролитах деталей приборов и электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.14 / К. Е. Кирикова, 2013. - 24 с. - Текст : непосредственный.Нелина С.Н. Разработка и исследование технологии изготовления подложек из монокристаллического сапфира для элементов электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / С. Н. Нелина, 2010. - 24 с. - Текст : непосредственный.Бычков С.П. Разработка и исследование лучистых нагревательных устройств для вакуумно-термического оборудования : 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / С. П. Бычков, 2019. - 16 с. - Текст : непосредственный.Иваненко В.И. Разработка методов синтеза функциональных материалов на основе титана, ниобия и тантала в водных средах : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.17.01 / В. И. Иваненко, 2012. - 41 с. - Текст : непосредственный.Амелина О.Д. Разработка бесспековой технологии вакуумплотной корундовой керамики группы ВК100 для нужд электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / О. Д. Амелина, 2016. - 17 с. - Текст : непосредственный.Гришечкин, Михаил Борисович. Применение газофазных технологий для глубокой очистки веществ на основе редких элементов : 2.6.7 - Технология неорганических веществ: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук / Гришечкин Михаил Борисович, 2021. - 17 с. - Текст : непосредственный.Артёмов А.С. Исследование физико-химических процессов и создание основ технологии химико-механического полирования материалов : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.06 / А. С. Артёмов, 2012. - 45 с. - Текст : непосредственный.Труфанова, Наталья Сергеевна. Компоненты и СВЧ-устройства, изготавливаемые на основе аддитивной принтерной технологии : специальность 2.2.14 - Антенны, СВЧ-устройства и их технологии: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук / Труфанова Наталья Сергеевна, 2024. - 22 с. - Текст : непосредственный.Стесяков, Андрей Александрович. Формирование межрегиональной кластерной политики по развитию контрактного производства электроники : специальность 5.2.7. Государственное и муниципальное управление: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата экономических наук / Стесяков Андрей Александрович, 2025. - 25 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽