• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Моряков, О. С. Элионная обработка / О. С. Моряков. - М. : Высш. шк., 1989. - 128 c. : ил. - (Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники ; кн.7). - Библиогр.:с.127 (6 назв.). - 21000 экз. - ISBN 5-06-001079-1. - Текст : непосредственный.
    На тит. л. авт. не указ. Библиогр.: с. 127 (6 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002(075.3)

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Учебники и пособия

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПОСОБИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО -- УЧЕБНИК
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/48395/7)

    Шифр в сводном ЭК: 9476c533aa886b60b4c73c2c5089a02c



    Заказ фрагмента документа ₽