• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Мороз, А. В. Система комплексного контроля параметров пленок нитрида алюминия, получаемых методом магнетронного распыления / А. В. Мороз. - 2014. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-16. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    61.31.31661.862.41-416(043)

    Кл.слова (ненормированные): КОНТРОЛЬ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ПЛЕНКИ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-548)

    Шифр в сводном ЭК: bb0e4203eb9f35b78a3e244fd44f62ea



    Заказ фрагмента документа ₽