Полное описание

Тягинов, С. Э. Влияние неоднородности толщины диэлектрика на свойства туннельных МОП структур Al(1-4 нм)SiO2/Si : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / С. Э. Тягинов. - СПб., 2006. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.323(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар06-10248)

Шифр в сводном ЭК: 6c2f03e7ece7ab266552e00ddfd10249

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽