Полное описание

Таиров, Ю. М. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов : учеб. для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники", "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" / Ю.М.Таиров,В.Ф.Цветков. - 2.изд.,перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1990. - 423 c. : ил. - 10000 экз. - ISBN 5-06-001032-5. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 418 (21 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002
47.09.31	621.315.61.002

Рубрики:
Полупроводники -- Производство
Диэлектрики -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИК -- ОБРАБОТКА -- ПОЛУПРОВОДНИК -- обработка
Доп. точки доступа:
Цветков, В.Ф.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/69430)

Шифр в сводном ЭК: dca09b403469a19fad7f0e8855a6a833

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽