Полное описание

Табулин, А. И. Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / А. И. Табулин. - Минск, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с. 14-15(9назв.).

ГРНТИ	УДК
47.41	621.3.049.75.002:658.562(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-15015)

Шифр в сводном ЭК: dc5e26fcb073341f3f72b540f54d70fe

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽