Полное описание

Современные материалы и методы исследования микроэлектроники и оптоэлектроники : сб.науч.тр. / Ред. Ю. М. Таиров ; Редкол.:Ю.М.Таиров (гл.ред.) и др. - СПб. : [б. и.], 1996. - 104 с. : ил. - (Известия / С.-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова(Ленина) ; вып.495). - 100 экз. - ISBN 5-7629-0099-1. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.76.002.3
47.33.37	621.383.002.3
47.33.33

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы -- Методы исследования
Оптоэлектронные приборы -- Материалы -- Методы исследования

Кл.слова (ненормированные): ИССЛЕДОВАНИЕ -- МАТЕРИАЛ -- МЕТОД -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ОПТОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Таиров, Ю.М.\ред.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/52040/495)

Шифр в сводном ЭК: c84c59724afa7b6e91ca3187d7819a82

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽