Полное описание

Сидорова, С. В. Исследование влияния технологических режимов на размеры островковых наноструктур / С. В. Сидорова, И. Н. Куликов, Д. В. Тетерук. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - С. 211-215. - Библиогр.: 3 назв.
ГРНТИ 81.29.29

Аннотация: Представлены результаты исследования наиболее значимых технологических факторов, влияющих на рост островковых наноструктур (квантовых точек). Эксперименты проведены с применением метода термического испарения, реализованного на вакуумной установке модульного типа.
Доп. точки доступа:
Куликов, И.Н.
Тетерук, Д.В.


Имеются экземпляры в отделах: всего -20130113 : ХРЦ (-20130113)
Свободны: ХРЦ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -189349-786901)

Шифр в сводном ЭК: 41bab594dc3c26727dc7e12caa0e5eeb

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽